新四极分析器真空过程分析

HPR-30系列补强真空处理分析器希登分析是为了给用户一个快速反应和高度精确的分析气体和蒸气。希登的多层次软件包集成到这个系统来简化复杂的数据操作和质谱的操作和控制参数和外部设备。标准的质量范围是200阿姆河,版本提供1000年阿姆河。多功能HPR-30可用于多种应用,如高质量的物种和前兆监测分析在退化和金属,泄漏检测和污染监测。

也有升级系统特性的选项希登3 f系列三重过滤四极系统改善丰度灵敏度,提供part-per-billion含量检测和高污染阻力——这是一个理想的组合进行分析激进的气体CVD和RIE应用程序。

HPR-30系列提供了多个采样配置启用全方位的过程压力和真空系统几何选项。各种模型是可用的,单身,或多个采样水湾、常温或加热,使挥发性物种的抽样。

系统提供车安装,高度调整优化工具之间的兼容性。对于脉冲沉积过程、时间分辨测量提供50纳秒时间分辨率。