光学和光谱仪成像和分析

HORIBA科学已经发布了xgt - 9000x射线分析显微镜(µXRF)同时进行元素分析和光学观察样本。结合Horiba专有的x射线技术,不仅xgt - 9000屏幕外国对象在一系列的生产过程,包括半导体集成电路,它还措施膜厚度与高度的准确性和依从性。通过集成高分辨率显微镜的特点和高强度x射线,xgt - 9000执行无损异物样本,分析高速分析模式之间切换的快速筛选外国对象,和详细的分析模式使用微梁早些时候首次纳入模型。

xgt - 9000配备了三种类型的光灯饰:亮场同轴,暗视野和传输。结合明视场同轴和暗场灯饰可以清楚观察的样品与持平或不均匀区域,如半导体晶圆和电影。xgt - 9000提供高度精确和快速的外物分析,使其检测可见异物和无形的几微米大小的。

辐射x射线同轴光学观察图像,避免了任何偏差。其他改进包括缩短分析时间,提高映射和图像处理,以及易于结合其他分析设备。软件包包括定量和定性化学分析、厚度决心和图像分析功能。