优化电子显微镜性能通过连续的环境监测

电子显微镜(EMs)的无与伦比的放大功能使他们不可或缺的应用程序要求纳米尺度成像。然而,操作所需的灵敏度在如此高的放大水平使他们容易受到磁场扰动,振动和温度和湿度的变化,所有这些都需要保持到最低限度,以确保最佳性能。跟踪这样的环境因素并不意味着一定成功,但现在可以使用专用的连续监测系统检测仪器实时环境的变化,简化故障诊断程序,确保最佳的设备性能。

模糊的线

EMs源于提供的优越的放大光的使用的电子探针样品;这些粒子的波长可以许多数量级短于可见光光子,使他们能够解决小得多的特性。关注样品的电子束,和与样品中原子相互作用产生信号包含表面形貌和成分的信息。看到细节在这样一个小规模的需要完全定位和光束集中,可以受到外部干扰噪声和振动,导致图像模糊。此外,由于电子是带电粒子,EM性能也大大受到外部磁场的影响。这将导致不同的文物图像中出现;交流领域经常出现锋利的锯齿状边缘,而直流领域创建波浪线。EM制造商因此精确地图和指定的干扰程度,他们的工具可以处理在图像质量低于可接受的极限。

调查这个问题

优化电磁性能依赖于仔细监测环境,前后设备安装。专门设计的测量系统可用于评估如果房间适合主机这样敏感的设备,确定振动和噪音——例如,从附近的交通或电梯,以及磁场来自周围的设备或其他较不明显的来源,如加热或空调系统。同样重要的是检查这些扰动一旦安装完成,尤其是对于某些应用程序,如半导体制造,即使很小的干扰会影响生产的设备的质量和完整性。然而,直到最近,市场上没有可用的技术,允许不间断,磁场的长期监测,声音,振动,温度和湿度,这意味着很少有EM用户访问相关的环境数据成像性能的问题出现的时候。

持续的环境监测

延误造成的模糊或失真图像可以成本用户宝贵的时间——可能停止或减少制造业的生产率的研究现状——使它快速高效地解决成像问题的关键。不幸的是,确定图像质量差的根本原因可能是一个漫长的过程。EM图像有问题时,很难辨别,如果问题是内部——来自错误的工具组件——或者如果一些外部干扰是影响电子束聚焦。对于大多数新兴市场用户,第一接触点来解决性能问题将EM制造商或服务组织,世卫组织将派遣一名工程师来调查这个问题。然而,如果没有明显的故障可以找到仪器,制造商将接触磁场专家,以及振动和声学保护供应商,帮助他们诊断是错误的,结果是一个漫长的过程和多个站点的访问。
持续的环境监测提供了一种方便的解决方案来帮助消除这旷日持久的诊断过程。如果发生电磁性能的问题,用户可以快速、轻松地检查磁场,声学,振动、温度和湿度数据,组织了日期戳的文件,并使用定制的软件查看——从图像质量损失的时候,立即识别如果问题是一个问题的结果与仪器本身或外部因素。这个数据甚至可以提供有关外部党派——设备制造商或服务组织,允许更有效的诊断仪器的问题没有访问该网站,大大减少了停机时间,并确保任何必要的现场干预尽可能高效。
环境监测也可以提供一个早期预警系统,如果参数超过用户定义的限制,尽量减少不必要的停机时间的机会EMs用于半导体检验。这个预警系统可以是视觉——一个红绿灯工具,是绿色环境参数在指定的范围内,并将红色当一个问题被发现,或电子发送一封电子邮件通知用户提供一个简短的摘要。这种技术也将为EM制造商很有价值的,他们可以很容易地检查问题是否与他们的仪器由硬件问题或环境扰动引起的,可同样有用的东西在仪器组装。

把EMs成为关注焦点

模糊的或扭曲的EM图像会导致各种问题的研究人员和工程师一样,使其至关重要的能够快速确定这些问题的根源。幸运的是,新兴市场用户现在获得一个专用的环境监测解决方案,可以帮助确定一个问题是否由内部因素引起的,或者是外部干扰的结果。新SC28从Spicer咨询可以追踪磁场监测系统,噪声和振动,以及温度和湿度,为EM用户提供环境数据的及时、有效的诊断成像性能问题。这个系统甚至可以通知用户时这些参数超出允许的限制,节省宝贵的时间,给新兴市场运营商充满信心,他们的仪器操作在适当的条件下。