新工艺气体分析手册

Hiden Analytical为从特高压到常压的过程气体分析的新时代开发和提供仪器。最新的产品展示手册，HPR-30系列提供了一个深入了解仪器，采样入口和软件包的范围。

HPR-30系列是螺栓式真空过程分析仪，专为快速响应，气体和蒸汽种类的高灵敏度分析而设计。配备Hiden的多层次软件包，提供质谱仪参数的简单控制和复杂的数据操作和外部设备的控制。应用包括泄漏检测、污染监测、工艺趋势分析以及ALD和MOCVD中使用的高质量物种和前体的分析。标准质量范围是200 amu，版本高达1000 amu提供。

可选升级包括创新的Hiden 3F系列三重滤波器四极杆系统，提供增强的丰度灵敏度，十亿分之一(ppb)检测水平和高耐污染性，特别适用于CVD和RIE应用中的腐蚀性气体分析。标准质量范围是200 amu，版本高达1000 amu提供。

提供多种采样配置，以适应全方位的工艺压力和真空系统几何要求。版本提供单个或多个采样入口，无论是未加热或加热，以允许挥发性物种的采样。

系统提供推车安装，并与高度调整之间的最大兼容性的工具。对于脉冲沉积工艺，时间分辨率测量可达到50 ns时间分辨率。

HPR-30系列旨在提供功能齐全，灵活和强大的解决方案，用于过程气体分析的各个方面的参数监测，如泄漏检测，真空质量和前驱体监测。

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