先进的等离子体诊断朗缪尔探针

的希登ESPion系列螺栓在等离子体过程分析器为快速响应设计,高灵敏度分析等离子体参数。

配备ESPionSoft,希登的多层次的软件包,提供简单的控制ESPion系统给等离子体稳定性和再现性直接相关的信息。等离子体参数的自动实时软件特性外推给等离子体属性的详细信息。广泛的等离子体参数计算包括等离子体的潜力,浮动的潜力,电子温度、电子能量分布、离子密度和离子通量。测量可以同步与外部的时间分辨测量等离子体电源脉冲等离子体的研究,如HiPIMS。

ESPion系统提供了一系列标准取样选项以适应广泛的等离子体的应用程序,包括ECR, HiPIMS,磁控管放电,赫利孔山源,直流辉光放电、脉冲等离子和激光烧蚀。与希登的创新多电感探针提供链宽带射频阻塞。高温应用,探讨功能积分气体冷却。软件自动自洁周期限制探针尖污染。可选升级包括,灵活和铰接式探头以及全自动z-drives空间解决测量。对于脉冲沉积过程、时间分辨测量提供50纳秒时间分辨率。

ESPion系列旨在提供一个功能齐全,灵活且强大的解决方案的监测参数在等离子体的各个方面分析描述和均匀性测量。

下载ESPion小册子。